寻“新”记 | 为半导体制造“真空心脏”，这个会悬浮的杭造“泵”牛在哪里

编者按：人工智能、生物技术、新能源技术……当今世界，颠覆性和前沿技术不断催生新产业、新模式、新动能，成为推动社会发展的新质生产力。 在浙江，以科技创新为驱动力，新质生产力让传统产业迭代，让新兴产业抢滩，让未来产业争先，为加快高质量发展提供了新动能。 为此，潮新闻策划推出《寻“新”记》系列报道，从细微处，看浙江如何向“新”而行。

走进调试车间里，研发人员正在调试一种银色圆筒设备——磁悬浮分子泵。这看似普通的装置，被称为半导体制造“真空心脏”的关键设备，在过去完全依赖进口。

磁悬浮分子泵 受访者供图

前不久，在杭州市科技局组织的媒体采风调研活动中，记者来到了杭州昆泰磁悬浮技术有限公司（以下简称“杭州昆泰”）近距离接触到磁悬浮分子泵。

“可别小看这个不起眼的泵。”杭州昆泰研发总监韩雪笑着说，“它打破了国外企业的技术垄断，实现了我国磁悬浮分子泵国产化率‘零的突破’。”

什么是磁悬浮分子泵？它相当于一种真空获得设备，如同一个“超级清洁工”，将封闭空间里的气体分子快速“清扫”出去，让空间达到几乎没有气体分子的状态。

调试车间 赵艺乔/摄

这与日常生活中，人们使用真空收纳袋的原理有些类似，人们通过手动抽气泵或者电动抽气泵，按压时，使抽气泵内的压力大于收纳袋内气压，从而将袋内的空气强制排出。

而磁悬浮分子泵则是让泵内转子高速旋转，借助分子碰撞和拖曳作用，将气体分子，从真空室的一端输运到另一端，从而实现抽气。

韩雪介绍，在制造芯片过程中，需要将腔体保持极高的真空度。“传统机械泵就像‘油烟机’，轴承中的润滑油会污染芯片；而我们的磁悬浮分子泵就像‘无叶风扇’，可以使轴承完全悬浮，进行无接触运行。”

调试车间 受访者供图

磁悬浮分子泵主要依赖磁悬浮轴承技术，研究人员利用磁悬浮原理，使得分子泵内的转子，在运转过程中处于悬浮状态，避免了机械接触，减少了摩擦和磨损，从而实现更快的旋转速度。

“要快速抽取真空，叶轮需在高速旋转下保持稳定，这是研发过程中的一大难题。” 韩雪说，叶轮是磁悬浮分子泵里的关键部件，主要用于抽气。叶轮尺寸较大，却要实现每分钟 24000次的高速旋转，对控制要求极高。

为此，团队经过两年的反复迭代验证，最终攻克难题，确保叶轮在高强度旋转下依然保持稳定。

“我们不仅解决了‘卡脖子’问题，还实现了部分性能反超。”韩雪介绍，如KTP-304磁悬浮分子泵抽速达350-570L/s，比国际主流产品高出20%以上，价格却只有进口设备的70%-80%。

磁悬浮氢气循环泵 图源：杭州市科技局

在昆泰的展厅里，陈列着各种“磁悬浮+”产品：磁悬浮纺机电机、磁悬浮氢气循环泵、磁悬浮厨电风机……这些创新的背后，离不开团队的努力。

杭州昆泰“脱胎”于实验室，核心研发团队源自北京航空航天大学（以下简称“北航”），公司拥有 80 余人的技术团队，其中博士及博士后共33 人，具备近 20 年的设计、研发及应用经验。

研究人员在测试

目前除了半导体领域，这项源自北航院士团队的磁悬浮技术，还在科研、精密仪器、工业、氢能源汽车及家用等领域大显身手。

“我们从高校出来创业，对技术钻研较深，但对政策了解有限。”韩雪坦言，“政府各级部门经常来企业调研，主动送来惠企政策，指导项目申报，还积极帮助技术人员解决落户安家问题，让大家能全身心投入创业和技术攻关。”

良好的创业氛围，给企业有了继续向下扎根的信心。“接下来，将继续在原有的基础上，完善产品性能，持续完善产品矩阵，在高端装备自主化的道路上坚定前行。”韩雪表示。

在现代高端装备制造领域，分子泵作为获得高真空和超高真空的核心设备，广泛应用于半导体制造、航空航天、科学实验等尖端领域。

随着半导体产业、新能源等战略性新兴产业的快速发展，对高性能分子泵的需求愈发迫切。在此背景下，磁悬浮分子泵成为我国真空技术领域的重点攻关方向。

磁悬浮分子泵实现国产化，是我国科技自主创新能力的生动缩影。从最初的艰难探索到关键技术突破，正是无数如杭州昆泰研发团队的科研工作者，秉持 “十年磨一剑” 的坚守，以 “敢为天下先” 的勇气，攻克了磁悬浮控制算法、高精密加工工艺、密封材料等一系列 “卡脖子” 难题。

在推动新质生产力发展的进程中，我国逐渐掌握了越来越多的核心技术，摆脱了对国外技术的依赖，向着技术的 “自给自足” 大步迈进。