打破头部企业的全面垄断！海宁这家企业凭什么？

厚度仅有头发丝直径三分之一的超薄Invar合金（铁镍合金）卷料经过图形光刻、化学蚀刻、检测等一系列处理工艺后，一片长约1.2米，厚20多微米的精密金属掩膜版（Fine Metal Mask，以下简称FMM）便制成了。近日，记者来到浙江众凌科技有限公司生产车间内，见到了这条全球行业内设备规格最高、产能规模最大、投资金额最多的FMM生产线。

FMM作为OLED新型显示面板制造过程中的核心模具，被誉为“OLED新型显示的光刻机”，在“十三五”计划时就已纳入国家《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》。但时至今日，FMM市场依然被日本一家企业全球垄断。

2020年9月，众凌科技落户海宁泛半导体产业园，新建12000平方米千级无尘车间筹建一期产线，并同步启动98亩地二期园区建设，旨在彻底打破FMM在国内的量产空白。

在车间的产品外观检测环节，记者看到，完成前两道加工工艺的FMM就像是一张薄薄的锡箔纸，但实际上，上面布满了肉眼看不到的上亿个开孔。通过仪器屏幕，我们看到了它放大100倍的样子，呈现的模样可以用“筛网”来形容。

“这一步主要是做宏观的产品外观检测，初步筛选产品表面不良区域。”车间制造负责人刘明松介绍，接下来还要通过全自动设备进行高精度尺寸检测和微观光学检测，合格后才能交付下游面板厂。

据介绍，FMM主要应用于下游客户端OLED显示面板蒸镀工艺，过程中其需要和半导体显示面板紧紧贴合在一起，让红绿蓝三色有机发光材料在高温下升华后穿过FMM微小开孔沉积在面板半导体开关电路上，定位出一个个红绿蓝像素发光点。可以说，FMM的品质直接决定了OLED显示屏的显示效果与品质，是使OLED显示屏能够显示多彩画面的“点睛之笔”。

一直以来，FMM的垄断性供给，成为我国OLED显示行业的一大痛点。令人欣喜的是，就在去年，成立不足2年的众凌科技仅用三个月时间，就以行业极速完成了国内头部G6世代面板厂用于主流旗舰机的量产验证测试。

“我们仅仅送样一次，就在3个月内通过了G6面板厂繁复的全面验证测试，于去年9月拿到了公司首个量产订单并顺利交付。”众凌科技副总经理赵明烜表示，下游客户端的使用反馈非常好，公司同规格产品基本与日本头部垄断企业水平齐平，甚至部分核心表现还要更优。

作为目前国内向头部G6面板厂量产交付的唯一一家国产FMM企业，众凌科技如何实现从0到1的飞跃？赵明烜坦言，关键在于核心技术——对原材料品质受限的攻克以及对客户端使用价值持之以恒地探究。

为攻坚核心技术，众凌科技研发团队联合上游材料金属厂进行了持续2年多的合作开发，积极解决上游Invar原材料被全球垄断的难题，通过独有的材料品质筛选技术和自有材料供应链品质优化技术，大幅提升产品品质和良率。“预计今年Invar材料品质和供给问题将得到彻底改善。”赵明烜说。

有了核心材料还远远不够。在20微米厚的金属薄带上进行0.1微米级别的光刻图形转写和化学蚀刻密集开孔，同时还要保证过程中材料不产生任何形变，难度相当巨大。

赵明烜介绍，在行业成熟经验基础上，众凌科技花费半年时间对产线设备进行了深度的高规定制。“投资2亿元建成的这条设备产线具备行业内最高的工艺品质天花板和单线产能，可以覆盖当前及未来OLED显示面板小到手表，大到手机、平板、笔记本电脑及桌面显示器的各类产品尺寸。”

目前，众凌科技也是当前行业内唯一一家将整条产业链从OLED蒸镀工艺——FMM生产——Invar材料生产技术链条打通的FMM企业。“今年，众凌将重点集中资源与精力快速拓展客户份额，逐步完成国内各大OLED面板厂的导入和量产提量，彻底打破头部企业的全面垄断。”赵明烜说。

这段时间，众凌科技二期园区98亩厂房的部分设备已完成搬入，正在紧锣密鼓调试，计划于年中逐渐释放产能，预计两年后实现精密金属掩膜版国内市场占有率70%以上。