衢州电子化学品“点石成金”

集成电路产值每增加1元，将带动GDP增加100元。生产集成电路，离不开高端电子化学品。正是依靠特种气体、湿化学品等上百种高端电子化学品，普普通通的硅，与铜、钴、钌、钼等多类元素神奇组合，成为芯片的原材料，用于电脑、手机、汽车等产品中，为我们工作、学习和生活提供莫大的便利。

前不久，由浙江省经信厅、衢州市政府主办的浙江省集成电路材料产业论坛暨“十链百场万企”电子化学品产业链专场活动在衢州举行。

本次活动由衢州市经信局、衢州智造新城管委会、浙江省技术创新服务中心、衢州学院、衢州市科技局、衢州市委人才办等共同承办，政企院校金融机构云集，仅我省产业链上下游企业就达70多家，其中包括中化蓝天、杭州格林达电子、建业微电子、中欣晶圆、大和热磁、正泰电器、巴斯夫、德山化工、浙江三美等知名企业。我市企业巨化集团、中宁硅业、金格兰石英公司等的代表还走上讲台，分享了研发、应用等相关经验。

省经信厅、市政府领导，以及集成电路材料产业技术创新联盟、浙江大学衢州研究院相关负责人介绍了我国电子化学品发展趋势，分析了产业优势与短板，记者整理了其中主要观点与经验，供更多企业分享。

浙江省技术创新服务中心工作人员介绍省电子化学品相关情况

1 一代材料支撑一代工艺

“一代材料支撑起一代工艺。”说这番话的是来自巨化集团有限公司的何永根博士，他介绍，集成电路产业（即我们熟知的半导体产业），正迎来了第三波快速增长。

上世纪90年代是第一波快速增长期，在PC端（电脑）的普及、风行下，集成电路产业首次爆发性发展；本世纪第一个十年间，在移动终端（手机）智能化带动下，集成电路“梅开二度”、高速增长。2020年左右，5G通信、AI（人工智能）、物联网、智能驾驶、新能源汽车等领域迎来巨大变革，给集成电路芯片产业提出了材料的新要求。据世界半导体协会预计，到2030年市场将达到1万亿美元！

半导体芯片的加工，离不开电子化学品的“点石成金”：正是依靠特种气体、湿化学品等上百种高端电子化学品，普普通通的硅，与铜、钴、钌、钼等多类元素神奇组合，成为芯片的原材料，给下游厂家提供了各种需求的“芯”动力。

从产业划分来看，电子化学品属于“小而美”“专精特新产品”，它源自化工产业，而浙江省是全国化工大省，规模居全国前五。舟山绿色石油化工项目持续推进，宁波舟山万亿绿色石化产业集群已经形成。嘉兴、绍兴、衢州精细化工及化工新材料产业优势明显。

电子化学品特别是高端电子化学材料与半导体和集成电路产业紧密相关，已成为我省数字经济“一号工程”关键支撑材料，以及我省石化化工行业“1+4+1”发展战略重要组成部分。我省依托衢州、宁波、杭州等地完整的化工产业链基础，逐步培育电子化学材料产业并实现转型，先后建成了中国电子化学材料产业园、浙江省电子化学材料产业基地，并涌现出中巨芯、格林达、南大光电等行业头部企业，总体已具备良好的基础和产业发展优势。

何永根博士在论坛上分享相关经验

2 电子化学品衢州成产业集群

今年元月，一则消息让业界备受振奋：

2021年浙江省重点首批次新材料 （认定奖励）名单中，我市企业浙江凯圣氟化学有限公司的电子级氢氟酸上榜“技术水平国际领先或技术水平国际先进且打破国际垄断”档次，为全省唯一上榜该认定档次的产品。中建材衢州金格兰石英有限公司的半导体高纯石英基础材料、杉杉新材料（衢州）有限公司的锂电子电池电解液跻身技术水平国内领先或打破国际垄断行列。

如果说首台（套）产品体现的“单兵”作战能力，代表着一个地区装备制造业发展水平，那么，衢州电子化学品产业的整体表现，更是让集成电路材料产业技术创新联盟、省经信厅、浙江大学等单位的领导、专家点赞多多：

“衢州布局省级高端电子化学品技术创新中心，并在6月16日揭牌，是政企校协同推进创新的良好载体。”“衢州企业如中巨芯、中宁硅业，在湿电子化学品、特种气体和前驱体等多个方向，解决了多个我国集成电路关键电子化学品的‘有’和‘无’的问题，产品质量达到了国内领先国际先进水平。”“‘双碳’战略下，电子化学品高端化发展将加速，衢州将迎来新机遇。”

从全省来看，电子化学品已形成电子级氢氟酸、硫酸、盐酸、氨水，显影液、蚀刻液，高纯氯化氢、氯气、硅烷，以及光刻胶系列产品。截至2021年底，全省共有重点企业36家，衢州市占20家，超过全省一半以上，杭州、宁波各4家，绍兴3家。

电子化学品特别是高端电子化学材料高端化发展，助力我市集成电路产业集群初现。近年来，我市除了培育凯圣氟化、中巨芯、巨塑化工等本土企业，先后引进索尔维蓝天、金瑞泓、奥首新材料、杭氧特气、先导电子等集成电路材料上下游企业。

2015年，中国石油和化学工业联合会命名衢州智造新城为中国电子化学材料产业园。2018年，我市成功创建省级集成电路产业基地。2019年，衢州高端电子材料产业平台入选第二批省级“万亩千亿”新产业平台名单。这些国家、省级荣誉，极大地提升了产业美誉度、平台承载力、发展新空间。

签约现场

3 为“中国芯”添砖加瓦

2021年国内电子化学品整体市场规模达到3252.3亿元。首次突破3000亿元大关。

我省已形成“电子化学材料——光刻胶——ArF光刻胶”“电子化学材料——湿电子化学品——高纯无机酸、刻蚀液、电子化学清洗液”等产业链。根据《浙江省炼化一体化与新材料产业——电子化学材料产业链提升方案》（2020年至2025年）规划，到2025年我省电子化学材料将实现品种、产能翻番，分别达50个40万吨以上，产值占全国三分之一，建成国内一流、有国际竞争力的电子化学材料研发制造高地。

没有高质量的电子化学品就不可能制造出高性能的电子元器件。

目标明确，分析优势，还要找出不足，下一步发展趋势是产业链提升的重点、业界关注的焦点。

短板有哪些？关键技术短缺、重点领域空白、原料装备依赖进口、分析检验能力不足。省技术创新服务中心相关负责人举例，电子化学品要求超纯、超净，纯度每提升一个N，都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。例如12英寸、90纳米制程的集成电路制造技术，要求电子特气的纯度要在5N至6N，在更为先进的28纳米以及国际一线的6纳米至10纳米集成电路制程工艺中，纯度要求更高，杂质浓度要求甚至达到ppt(10-12)级。

具体来说，我们面临的短板有：大尺寸硅片生产和先进技术节点所需产品开发、产业化技术研究尚处起步阶段。分离提纯技术、分析检测技术、品质稳定能力以及安全环保检测技术与国外先进水平差距很大。光刻胶用树脂、抛光液关键原材料纳米抛光颗粒和部分超高纯化学品、抛光垫用聚氨酯预聚体、固化体、功能填充材料、缓冲层材料国内不能生产。高洁净度生产设备及材料，管道、阀门、过滤器、包装器件依赖进口。

我市企业——浙江中宁硅业是首家硅烷国产化企业，也是为数不多的能将产品同时应用于半导体、TFT、光伏行业和镀膜玻璃四个行业的电子级硅烷生产企业。对此，公司副总经理陈德伟抛出了合作绣球：“参加论坛的很多企业都是我们的客户和潜在客户，对于我们来说也是一次很好的宣传推介机会。”陈德伟介绍，受国家“碳达峰”“碳中和”政策的利好影响，其中光伏产业作为年增长率达40%至50%的热门赛道，带动了硅产业30%至40%的快速增长。

金融机构也十分看好“中国芯”带来的上下游广阔市场，浙商银行作了电子化学品产业链金融方案及政策宣讲，建设银行衢州分行与浙江拓烯新材料公司签订产业金融合作项目。

4 如何让衢州电子化学品产业更“牛气”

市经信局相关负责人介绍，根据我省产业实际，综合论坛上政企院校产业联盟领导专家的意见，下一步衢州电子化学品产业重点“四轮驱动”：

组织实施关键技术品种攻关，围绕原料、装备、技术、产品制造等产业链短板及断链断供技术产品，梳理一批攻关清单。重点突破先进光刻胶产品及原料制备关键技术，突破集成硅系电路制造用前躯体材料制造技术，实现国产化替代；200L电子级化学品超纯包装容器、PFA超纯包装瓶实现国产化替代。

支持具备产业化条件的品种扩能增产，对已具备产业化条件的通用电子化学品，梳理产业化项目清单，协调解决产业化项目核准备案中的土地、能耗、环保、资金等问题，加速推进产业化项目实施，尽快形成或扩大产能，提高供给能力。

积极引进产业链高端企业来浙投资，加大全球招引力度，开展精准招商；引进分析测试仪器装备、特种树脂原料、先进半导体制程用工艺化学材料投资项目。

组建电子化学材料创新平台，支持由巨化集团牵头，浙江大学等硅片、芯片企业院校参与，以产学研协同创新的形式组建省级电子化学材料创新平台，组建电子化学材料生产应用平台。

以巨化集团为龙头，我市正在加速培育“中巨芯”等一批高端电子化学品一流企业；以浙江省高端化学品技术创新中心为载体，我市正在加速搭建创新平台，力争取得更新更大突破；以“万亩千亿”产业空间为基础，衢州正在完善配套、提升能级，让更多的产业链上下游企业进得来、留得住、长得快。

衢州高端电子化学品，将以更新的面貌展现在衢州“工业强市”版图里，写在全省重大产业链节点中……

张路